PSS衬底片反射率测量及分类机

PSS衬底片反射率测量及分类机系正规赌博十大网站app正规赌博十大网站app与清华大学合作研制的专利产品。该设备可在线快速检测PSS衬底片刻蚀前和

刻蚀后的反射率(PR)数据,生成高分辨率的Mapping图,可为衬底片刻蚀工艺控制提供可靠的数据。

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